Если в логах апача видим ошибку «No space left on device: Couldn’t create accept lock or Cannot create SSLMutex», помогут решить проблему следующие действия:
Solution: There were myriads of semaphore-arrays left, owned by my apache-user.
ipcs -s | grep apache
Removing this semaphores immediately solved the problem.
ipcs -s | grep apache | perl -e ‘while () { @a=split(/\s+/); print `ipcrm sem $a[1]`}’
or
ipcs -s | grep apache | awk ‘ { print $2 } ‘ | xargs ipcrm sem